二手 CANON PLA #9244761 待售

CANON PLA（Parallel Layer Aligner）是为晶圆步进器/扫描仪基于光刻设计的掩模对齐器。它是一种与步进器兼容的可编程激光对准设备,通过结合光学和软件功能来测量和对准不同层中的层,实现自动迭加对准功能。PLA利用激光对准技术和高分辨率光学显微镜精确测量两层的相对对准。激光对准是通过使用激光和硅晶片实现的，在该晶片上反射每一层的图像。当两层的对齐被确定为准确时，结果被写入光刻配方。系统从从迭加测试晶片拍摄的单个图像中识别模式,然后将其与参考数据集进行比较。它可以测量两层的相对对齐度到亚微米精度。佳能PLA配备了强大的成像算法，简化并加速了多层定位，同时消除了对多幅图像的需求。该单元还具有多种内置工具，包括对齐验证工具、模式匹配工具和边缘检测工具。PLA旨在缩短设置时间,并最大限度地减少生产所需的曝光次数。它的力量加上可编程激光机的灵活性，允许使用者控制对准过程的所有参数。它也是高度自动化的,允许多层的精确和可重复对齐。总体而言,CANON PLA是一种极其可靠和有用的光刻工具,具有极好的精度和实现快速吞吐量生产的潜力。它结合了光学和软件功能,是对任何生产环境的宝贵补充。