二手 COBILT CA 800 #102000 待售

COBILT CA 800掩模对准器是高分辨率器件制造的关键工具，尤其是在光刻应用中。它是一种多用途、自动化的设备,具有良好的分辨率和高重复性。设计了CA 800系统以提供高对准精度。其设计采用全场数字成像装置,可选择5 μ米步长,精度μ 2-10米,分辨率可降至0.25 μ米。这使得它能够对复杂设备进行高分辨率对准和传输。机器还带有两个或四个区域的偏置源，可以提供高达12伏的偏置。这样可确保即使卸下蒙版后,光刻胶层仍保持正确对齐。COBILT CA 800配备了全自动对准工具。它使用2D模式识别功能和闭环对齐控制资产,以确保设备在卸下掩码之前正确对齐。掩蔽过程可以完全自动化，在层时间、剂量和温度的可编程变化。该模型还包括一个修补程序单元、一个用于测量和监视层厚度的设备、一个闭环控制执行器和一个电动工作台。可以为各种距离设置机动工作台,以获得最高分辨率。CA 800是制造小型复杂设备的宝贵工具。它提供了高精度和重复性，使其成为光刻工艺的理想解决方桉。它的自动化能力使它成为准备小型设备的方便和高效的设备。