二手 DNK MA-4200 #293797494 待售

DNK MA-4200 Mask Aligner是一种精密、精密的大型集成电路（LSI）电刻生产工具。它是一个全自动、计算机控制的曝光单元，专门设计用于晶圆步进器和掩模写入器。DNK MA4200掩模对准器配备了先进的掩模图样处理器和功能极为强大的光学对准设备，使掩模与基板的对准更加精确和可重复。它还能够自动为各个层建立索引,并在各级集成电路层上实现高分辨率对准。MA 4200掩模对齐器为用户提供了许多功能,以最大限度地提高生产效率和质量。它配备了电阻式触摸屏用户界面，使得缺乏经验的用户可以轻松访问该设备。用户界面还包括具有高级缩放和平移功能的高度精确的对齐系统,允许对对齐参数进行微调。此外,该设备能够在曝光前彻底检查掩码数据,以了解其准确性和掩码图样中的任何错误。曝光过程包括使用掩模图样数据将激光束引导到基板表面极精确的斑点。这允许在表面製作微电路，分辨率在10至1微米之间。通过使用双压电级进一步提高了曝光过程的精度，可以精确地将基板移动0.1微米增量。MA-4200面罩对准器使用波长为248 nm、功率高达每脉冲480mJ的激光。其曝光时间低至0.2秒，可在摄氏40度的最高温度下操作。MA4200符合所有现行安全标准，并配有自动灭火装置，以确保额外安全。DNK MA 4200掩模对齐器不仅提供了卓越的性能,而且还提供了使用不同基板而无需重新对齐的灵活性。该单元配有喷嘴交换机，可放置各种基板，并在几秒钟内自动交换。归根结底,DNK MA-4200提供的精确、自动化的制造工艺使其成为目前最先进、成本效益最高的掩模对齐器之一。