二手 DNK MA-4200 #293814042 待售

DNK MA-4200掩模对准器是一种精密的光刻仪器，用于微加工工艺。它用于打印、对齐和蚀刻图样到基板上以创建微电子电路和组件。DNK MA4200的设计提供了对齐和模式保真度的准确性和均匀性。MA 4200由一个基本单元、一个光掩模对准头和三个光刻阶段组成。基本单元包含系统的所有控制器、信号处理器、电源和照明源。它还包括用于编程、调整和通信的用户界面。掩模对准头固定着光掩模和基板。光掩模由薄膜材料制成，具有表示所需电路模式的光学透明区域。基板通常是包含电路模式的目标材料的半导体晶圆。三个平版印刷阶段分别是面罩对准、面罩曝光和图样开发步骤。掩模对准级采用远心光学系统和两个独立控制的线性级，将光掩模精确对准基板。蒙版曝光阶段使用100 kV冷阴极光源和电动光圈均匀照射光蒙版。模式开发阶段使用液体显影剂蚀刻暴露的光刻胶薄膜，将电路模式转移到基板上。MA4200掩模对准器可配置为在光学显微镜级或自动对准级操作,具体取决于预期的吞吐量和精度要求。它可以处理最大100 x 100 mm的基材尺寸，分辨率高达0.2 µm，并且能够对任何种类的光刻材料进行阵列设计，包括电介质、陶瓷和导电层。综上所述，MA-4200掩模对准器是一种用于微加工工艺的通用、高精度仪器，用于制造微电子电路和元件。它具有广泛的可配置性,能够为短期和长期生产周期提供卓越的精度。