二手 DNK MA-4200 #9144337 待售

DNK MA-4200掩模对准器是一种用于制造微电子设备的半自动光刻设备。它可用于制造具有20至200 nm范围内功能的设备。机器由两个主要部分组成,一个是大型机,另一个是阅读器/写入器。DNK MA4200主机装有光刻所需的光学和机械元件。这包括一个基板，面罩和基板被放置在上面。阅读器/写入器是一个电子控制的系统，它解释面罩上的图桉并将其写入基板上。该机具有多种可调特性，有助于实现高精度制造。步进电动机允许沿X和Y轴进行显微镜调节，总共四个自由度。遮罩级可以5个连续增量移动，也可以五度增量旋转。阅读器/写入器使用紫外线激光进行曝光，使用六区级将光刻胶聚焦到基板上。将制造作业加载到MA 4200中时,首先使用X、Y和旋转阶段将掩码与基板对齐。然后,使用掩模和基板启动一系列扫描。每次扫描都需要几次扫描和激光缩放才能将图样写入基板上。每次扫描的长度取决于所需的分辨率和精度。图样写入基板后,MA-4200有一个自动开发循环.这一步骤比工艺的其他部分需要更高的精度，并且设计成应用一层薄薄的光刻胶来选择基板的部分。总体而言,DNK MA 4200掩模对齐器是一种通用、独立的工具,对于高精度的微加工至关重要。它能够精确地产生小至20纳米的特征,并具有可重复的结果,因此非常适合为未来的电子设备创建复杂的设计。