二手 DNS / DAINIPPON MA-4200 #9375091 待售

DNS/DAINIPPON MA-4200是一种掩模对准器，一种光刻工具，用于光刻过程中将电路图样从光掩模传输到基板上（例如硅片或玻璃片）。对齐器将光掩模的图像投影到基板上，并利用对齐传感器测量对齐。DNS MA-4200专为直径可达10.4英寸（263mm）的掩模而设计,在1000 µm的区域内,其对准精度可降至亚微米。由于工具的四象限对准技术，使用两个干涉仪来测量基板和光掩模的对准，这种高精度是可能的。这种方法也有利于检查晶片到掩模的注册。为了进一步提高精度,DAINIPPON MA-4200采用了优化的舞台设计,以减少由于悬臂和热膨胀引起的配准误差,并具有一个抗振系统,以最大程度地减少机械振动并确保整个对准区域的一致对准。在维护方面，MA-4200有两个独立的真空系统，以减少手动晶圆交换的需要，方便无缝操作。此外,该工具还包括一个自动对齐系统（AAS）,它可以精确定位基板中所需的对齐中心,并通过按下单个按钮来补偿定位错误,从而无需手动校准。在光掩模兼容性方面，该单元可以处理多种类型，包括二进制掩模、移相掩模和镀铬掩模。为确保可靠性和安全性,DNS/DAINIPPON MA-4200具有多种控制功能,包括过载保护功能,该功能可在检测到任何机械干扰时自动停止刀具。它还具有空气粒子和电泄漏传感器，以检测任何空气污染并将其保持在安全范围内。DNS MA-4200设计用于快速、精确和精确的光刻处理。它兼具性能、准确性、可维护性、安全性和兼容性,是各种光刻应用的理想选择。