二手 ELS TECHNOLOGY ELS 104SA #9161432 待售

ELS TECHNOLY ELS 104SA是一种先进的掩模对准器，用于制造硬X射线和软X射线光学器件。ELS 104SA利用在掩模前表面形成的对准标记,并在成像光学器件中曝光,以精确地向光学器件注册掩模位置。具体而言，ELS TECHNOLY ELS 104SA利用激光干涉测量和电子图像分析将掩模对准几纳米范围内的基板。ELS 104SA由几个关键组件组成,包括掩模旋转器、扫描头、分束器、自动级和自动检测器。遮罩旋转器是一种旋转马达，用于将遮罩精确对准基板。通过控制软件，程序选择板旋转速率，从而实现精确的XY对齐。此外,它还具有手动光栅,允许用户手动调整掩模和基板之间的重迭,从而提高了对齐的准确性。ELS TECHNOLOGY ELS 104 SA的扫描头允许用户选择图桉尺寸、分辨率和扫描方向，并包含一个超稳定的石英平面镜，可容纳0.02微米精度和10纳米分辨率。分束器是将入射光分成两个独立的光束的棱镜，一个光束提供较小的扫描场大小，减少掩模或基板边缘的像差，并增加吞吐量。ELS 104 SA的自动级保证了对准精度和可重复性，保持了高精度和稳定性。它还包括用于精确XY舞台运动的游标标尺。自动检测器能够自动识别对齐标记，提供高精度和重复性。它与自动舞台配合工作，以提高准确性和尽量降低手动对齐的成本。总体而言,ELS TECHNOLY ELS 104SA是寻求可同时处理硬X射线和软X射线光学的掩码对准器的用户的理想选择。ELS 104SA具有高度精确和可重复的对齐能力,对于医疗和工业领域的许多应用来说,它仍然是一个可靠且价格合理的选择。