二手 ELS TECHNOLOGY ELS 106FA #293830837 待售
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ELS TECHNOLY ELS 106FA是一种完全集成的高级掩模对齐器,具有卓越的精度和工作效率。设计用于先进集成电路处理的精密光掩码的对准和制造。ELS TECHNOLOGY ELS-106FA具有高度精确的高速高级特征比较算法,可实现快速、精确的对齐.利用其独特的单通特征检测算法,该掩码对齐器能够在100 µm内快速准确地检测和对齐特征,从而提高吞吐量并提高产量。ELS 106FA掩模对准器利用先进的光刻技术实现了卓越的特征检测和精度.该设备配备了高精度级和闭环光学控制,以实现卓越的特征定位。ELS-106FA是一个功能齐全的系统,提供易于使用的界面,具有广泛的高级功能,可用于生产和研究应用程序。这些功能包括传统和高密度模式的精确对齐、宽视野、实时缩放、快速掩码转换、自定义步进器设置以及许多其他功能。该单元还提供了广泛的高级分辨率增强技术,包括模煳逻辑模式对齐、图像稳定和失真校正。ELS TECHNOLY ELS 106 FA优越的光学控制和舞台精度提供了改进的薄膜均匀性和线宽控制。此外,包括傅立叶变换识别和特征比较算法有助于快速对齐,即使对于复杂的体系结构。为了获得最大吞吐量,ELS TECHNOLOGY ELS-106FA可以配备自动掩码装载机,该装载机提供高速掩码转换,并消除了对光掩码的手动处理。此外,ELS 106FA是为易于使用和经济实惠而设计的。这台机器坚固可靠,开箱即用,性能卓越.它还设计为用户友好,具有彩色液晶触摸屏、工具检查功能,并通过数据存储和召回来提高工作效率。为确保一致的基准识别和提高资产性能,ELS-106FA使用模式参考标记(PRM)进行精确的特征对齐。该模型可以处理多种类型的PRM尺寸,用于掩模和基板对齐。此外,动态基准识别(DFR)功能允许精确的实时移动反馈,以确保基准保持在适当的参数内。ELS TECHNOLOGY ELS 106FA提供了卓越的准确性、统一性和吞吐量,从而缩短了生产和研究项目的周转时间。利用先进的特性比较算法、精确的光学控制和基准识别,该掩码对齐器是先进集成电路工艺应用的理想选择。
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