二手 ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #293768116 待售

ELS TECHNOLY ELS 106SA掩模对准器是半导体器件制造中使用的一种通用、精确、可靠的光刻工具。该设备设计用于高分辨率电子束、X射线和光学光刻应用，并提供纳米级精度。该系统包括掩模对准器、腔室、基板卡盘和附件。蒙版对齐器使用电动舞台精确移动和对齐蒙版,分辨率小至500 nm。这有助于确保正在制造的设备精确且原子对齐。ELS 106SA的腔室是单区、一件式、亚微米级的轴上设计单元。这种设计允许快速的基板卡盘插入和移除，而腔室有一个独特的移植机器，可以方便地整合多个附件。它还有一个高温的热源，为精确的对准提供热补偿。ELS TECHNOLOGY ELS 106SA的基板卡盘设计为可实现低角度基板,预对齐的对齐标记能够实现小至5nm的分辨率。可选附件包括电子束蒸发器、气体注入沉积源、光学聚焦工具和石英晶体监测资产。该型号还包括安全联锁功能，以确保操作员安全。ELS 106SA专为研究和工业应用而设计,并为通用的制造任务提供用户友好、直观的控制。它具有用于配置多个参数和监控设备性能的高级图形用户界面。系统还包括分析和日志记录功能,使客户端能够轻松跟踪模式更改并检测任何异常。此外，该单元还拥有一个用于定期检查和测试的综合维护机器，以保持最佳的刀具性能。这项资产坚固可靠,能够承受环境和操作压力。总体而言,ELS TECHNOLY ELS 106SA掩模对齐器是一种精确、用户友好且可靠的模型,专为高分辨率光刻应用而设计。其先进的特性、坚固的设计和直观的控制设备使其成为半导体器件制造的理想工具。