二手 EVG / EV GROUP 420 #293589823 待售
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ID: 293589823
Aligner
Bond alignment holder
Bond align chuck
Mask holder: 5" and 7"
Lithography chuck: 4" and 6".
EVG/EV GROUP 420是半导体工业中使用的先进可靠的光刻掩模对齐器。它是为大批量生产非常小的结构和MEMS组件而设计的。它提供了先进的对齐设备和面向用户、直观的软件，最大限度地为用户提供便利。该系统包括一个精确的光学成像头，由激光点对准单元提供动力，并由一台聚焦检测机增强。它包括各种曝光后对准工具,可实现1.5 µm ±的精确定位精度,可重复性小于0.5 µm。该工具在广泛的环境条件和适度的加速和减速下运行。可以将可选的照明系统添加到资产中,以改进一致性、过程控制和实时曝光监控。它提供模具与模具的兼容性,从而实现并发曝光和开发。它采用模块化轻巧的设计,可轻松为不同的任务重新配置,从而提供出色的启动时间和可靠性。该模型具有精确的框架对准、集成的晶圆处理能力、热卡盘和先进的曝光控制功能。它具有灵活、符合人体工程学的设计,具有用户友好的触摸面板控制、自动聚焦检测和可调曝光计时器。与成本更高的系统相比,机器的性能和精确度更高,同时需要更少的环境和过程补偿技术。它还提供了面罩对齐器中无法提供的功能,例如与以前的曝光层进行注册和多层注册。该机安全易用，能够准确可靠地暴露高精度特性。它的功能和选项为高价值高级应用程序的曝光提供了扩展功能。总体而言，EVG 420是一款先进、可靠且易于使用的掩模对齐器，适用于半导体行业的大批量生产应用。它是为满足先进的光刻工艺的需要而设计的，具有出色的工作时间和可靠性。
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