二手 EVG / EV GROUP 420 #293757176 待售

EVG/EV GROUP 420 Mask Aligner是一款通用的Mask Aligner,可为用户的过程开发提供动态模式掩蔽和计量功能。EVG 420 Mask Aligner非常适合从光刻到纳米级技术的项目。它具有很高的精确度，使用最新的精密对准技术和激光，并且可以提供广泛的基板变化和工艺专业知识。EV GROUP 420 Mask Aligner设计并配备了一个特殊的集成式炮塔，能够一次快速加载许多mask框架，方便在不同的mask之间切换，同时运行多个项目。此外,它还提供了三种不同的对齐模式,旨在满足任何应用程序的需求：手动对齐、自动角检测和边缘检测。手动对齐是最精确的方法来对齐脆弱的蒙版和尽量减少残留的扭曲。420 Mask Aligner还保证了快速吞吐量,周期时间仅为240秒,吞吐量速度高达每小时200晶圆。它还可以处理薄基板，因为它的低最小基板厚度0.2mm。同时，Mask Aligner还具有自适应聚焦控制、倾斜控制和平面化算法，以提高工艺质量。EVG/EV GROUP 420掩模对准器的其他显着特点包括全自动晶片装卸；温度调节热成像系统；最先进的CCD和自动曝光成像系统；以及一个覆盖对齐配方库。总体而言,EVG 420 Mask Aligner是一款多功能成像工具,具有许多功能和特点,非常适合快速、精确的光刻和计量过程。它是任何高精度和速度最重要的开发和研究环境的理想工具。