二手 EVG / EV GROUP 620 #9157850 待售

EVG/EV GROUP 620是一款先进的Mask Aligner设备,专为通用的掩码处理和测试需求而设计。它采用了全自动光学对准技术，使平板基板能够针对刚性或柔性面罩进行精确和可重复的配准。该系统还为各种应用程序提供了卓越的吞吐量和准确性。EVG 620具有世界级的光学元件、软件和系统工程功能。其最先进的对准单元，包括两个13轴的精密驱动器，在提供主动对准过程中对基板的精确控制的同时，可以达到高精度。这使得它非常适合于抗蚀剂成像、细线光刻、精密基板制备以及其他具有挑战性的任务等应用。自动对准过程采用高精度光学成像传感器和可操纵掩模相结合，确保每次都能准确放置基板，在X轴和Y轴上的重复性均优于+/-1微米，在Z轴上优于+/-2微米。这样可以实现高度精确的抗拒图像和精确的基板制备。该机还配备了强大的光刻工具，以确保所有操作的亚微米精度。资产的自动Z聚焦模块支持动态扫描,以确保抵抗厚度的均匀性。级联操作模式可确保超高分辨率和偏差控制,而其先进的对齐和检测算法可实现设计数据的快速、准确匹配,从而最大限度地减少异常值。该型号还非常用户友好,具有高分辨率的彩色LCD 4.3"触摸屏,可显示对齐方式、曝光次数、每个基板的曝光总量等信息,以及对抗拒效果的详细评估。这样可以轻松直观地操作。EV GROUP 620是一款高度先进的Mask Aligner设备,性能卓越,操作方便用户。它能够为各种应用程序提供卓越的速度和准确性,同时通过其高分辨率彩色LCD 4.3英寸触摸屏对抗拒效果进行详细评估。