二手 EVG / EV GROUP 620 #9160674 待售

EVG（EV GROUP）EVG/EV GROUP 620是一种自动化的多合一掩模对齐器，在光刻领域广泛用于半导体行业的各种应用。EVG 620是一种灵活、高精度的光刻工具，提供广泛的对准和成像能力，使其能够用于制造复杂集成电路（IC）芯片和其他微电子器件。EV GROUP 620为临界光刻应用配备了高度精确、可重复的定位。它结合了5轴高精度XY-theta全球定位设备（GPS）级和多轴压电驱动的局部对准系统（LAS），在纳米范围内带来令人印象深刻的精度和可重复性。620还拥有最先进的偏振分束器（PBS）显微镜,可实现高放大光学成像以支持与亚微米分辨率对准。此外，EVG/EV GROUP 620还包括一个集成的激光二极管成像单元，进一步增强其成像能力。EVG 620能够处理多种具有大范围抗蚀性厚度的基材。它的高精度阶段使它能够对齐并精确地在尺寸达300毫米（12英寸）的基板上成像IC。它还能够形成双大马士革特征，创建沟槽、通风孔、大门，甚至复杂的3D结构。EV GROUP 620具有广泛的配置和选项,可以根据特定的客户要求对其进行定制。这些配置包括IC对准器、掩模对准器、晶圆扫描仪、掩模扫描仪和脉冲激光直接成像机等。此外，620还有一个人性化、直观的带有触摸屏技术的图形用户界面（GUI），即使没有经验的用户也很容易使用。这种多合一掩码对齐器的设计是为了与几乎所有的过程控制工具兼容,从而可以在任何现有的内部制造过程中轻松集成和操作。此外,这台机器能够在清洁环境中运行,并得到卓越的服务和支持,以确保始终保持最佳运行。总体而言,EVG/EV GROUP 620是一款令人惊叹的口罩对齐器,提供最先进的性能和业界最高的质量标准。其先进的功能和可靠性使其成为光刻应用的最佳选择之一。