二手 EVG / EV GROUP 620 #9250079 待售

EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner是一种精密仪器，用于对准和粘合光掩模和其他基板。它能够实现亚微米精度，对准精度为1.5 μ m。EVG 620是一种全自动工具,适用于高吞吐量生产以及单掩模/基板生产。其高效的自动化软件确保了口罩和基板之间的精确对齐和精确结合。EV GROUP 620有两个独立的级，一个是内置直线轴承的高精度步进电动机级，另一个是XY-theta轴机动化级，以低加速度相移动，高速非同步皮带设备。这使系统无需使用额外的外部硬件即可实现亚微米对准。集成软件高效、自动化，包括用于控制运动阶段和真空运动的可编程接口。620除了精度和准确度较高外，还设有深度工艺控制单元。这包括一台有镜头系统选择的视觉机器、真空系统实时监控、自动定位工具以及自动校准和建模资产。这种集成模型有助于保证前后一致且可重复的结果。EVG/EV GROUP 620蒙版对齐器是一种适合对准和粘合多种基材的选择。它易于使用、易于维护,并提供市场上最高水平的准确性和可重复性。这使得它成为熔融基板原型制作和生产的高度可靠和经济高效的解决方桉。