二手 EVG / EV GROUP 620 #9266635 待售

EVG/EV GROUP 620蒙版对准器是一种专用的精密工具，用于将图样制作成多种基板。它非常适合批量制造集成电路、MEMS和微系统、薄膜头、柔性电子设备以及广泛的其他应用。EVG 620是一种全自动设备,提供卓越的精确度和吞吐量。其对准能力基于先进的图像处理技术，加上高分辨率的线性测量传感器，以确保每个元件精确地放置在其所需的位置。该系统具有用户友好的触摸屏界面,便于设置、操作和维护。该单元的核心是先进的对准架构，具有自动镜头优化、全4象限感应和可编程的超声模式，以获得快速准确的结果。它还具有集成的机器控制器,并带有板载诊断程序以检查错误。EV GROUP 620工具配备独特的基板卡盘资产，可容纳直径最大8英寸的基板。它可以同时处理圆形和矩形晶片，甚至可以在同一晶片上处理几个不同几何形状的模具。其对准精度为± 2 μ m,掩模过失精度在± 1 μ m以内。此外,620遮罩对准器还采用了多种有助于确保均匀性和均匀沉积的技术,如"倾斜和旋转"特性、MEMS卡盘倾斜补偿和阴极气体控制。其标准特性还包括一个大气压室和一个可重复的软件过程。它还具有CCD分辨率的高精度相机模型。此外，EVG/EV GROUP 620蒙版对准器设计为提供快速可靠的光刻设备。其能力使复杂产品的制造具有优异的效果。该系统的资金和运营成本低，非常适合经济高效的生产。此单元非常适合那些需要大量复杂零件的用户,以及规模较小的原型设计操作。