二手 EVG / EV GROUP 620 #9276197 待售

EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner是一款全自动、独立的Mask Aligner,用于生产高分辨率光掩模光刻应用。它的设计考虑到了易用性和高效的操作,允许用户以最小的努力创建高质量的光掩码。该对齐器利用最新的光学表面成像、光学失真校正和激光稳定prober技术，制造出高长宽比和最小对准误差的极其精确的光敏印版。这样可实现结晶级特性,其对准精度可降至0.1µm。此外,EVG 620 Mask Aligner还提供了从预对准到后测量和验证的高级过程控制功能。包括扫描电子显微镜进行纠错，并提供各种检查工具来评估遮罩表面。系统可以自动调整流程参数，以确保流程的最佳性能。此外,EV GROUP 620 Mask Aligner的设计速度明显快于市场上其他可用的Mask Aligner,每次对齐的对齐速度为1分钟。系统还可以连接到PC,从而可以远程访问软件并控制系统。620 Mask Aligner具有生成具有清晰几何形状的极其精确的晶圆基板的能力。除此之外，它还具有高分辨率、低色散成像能力，是高端光掩模凋塑应用的理想选择。EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner是寻求高效、准确的Mask Aligner的用户的理想选择,为用户提供高精度校正、高级过程控制功能和快速的对齐速度。