二手 EVG / EV GROUP 620 #9352151 待售

EVG/EV GROUP 620是一种高精度的掩模对准器，用来对齐和传递一个图样，例如光掩模，以极高的精确度到基板上。这种对齐器使用六轴机械臂提供无与伦比的4微米、亚纳米可重复性。它具有在6英寸晶圆上传输和对齐小至0.5微米、5西格玛精度为1微米的特性的能力。EVG 620采用专利光束曝光技术，能够产生形状精度极好的均匀光束斑点图桉。其高分辨率的空间光调制器阵列使其成为液晶显示和半导体掩模对准应用的理想选择。该设备的八个专用驱动级可实现高吞吐量和快速对准速度,其光子逻辑控制为更长的生产运行提供即时反馈。直观的用户界面可确保精确的设置,内置的库允许访问经常使用的参数集,从而进一步方便。EV GROUP 620利用了最先进的光学对准站,可实现100%的视场覆盖,最多可配置5个通道。此对准器具有先进的光束增强系统,该系统结合了五个质心聚焦透镜,具有独特的光束控制功能,可提高工作效率。其集成软件利用智能模式匹配算法和先进的宏技术来提高对齐精度。此外,620提供了不同的对齐模式,以适应不同的应用程序需求,而计量单元提供了持续过程优化的反馈。对齐器独特的自动对焦机为所有晶圆尺寸的精确对准提供了最佳的接受标准,而无需手动干预。此外,此工具还具有高级全局对齐选项（如XY或XYT功能）,以确保更高效的晶圆级对齐。