二手 EVG / EV GROUP 6200 #9239987 待售

EVG/EV GROUP 6200是一款为直径达200 mm的基板设计的掩模对齐器。这台最先进的机器由两个独立的阶段组成。第一阶段称为直接成像（DI），允许在基板上创建有阵列的对齐标记。这些对准标记是使用主成像设备生成的，该设备包括屏幕平面摄像头和数字微镜设备（DMD）。二次成像系统由带电耦合器件（CCD）相机和光动光源组成，使机器能够检测基板上的图样对准标记，并将其对准预定的覆盖精度。EVG 6200的第二阶段用于光刻处理。此阶段允许使用光刻技术在基板上创建图样。它由两个组成部分组成；一个大型的全自动曝光装置，用于将图桉化的对准标记暴露在基板上，一个高压喷雾机，使光刻胶涂在基板上。曝光工具配有专用的用户界面，方便地控制曝光和处理参数，而喷雾资产则有用户定义的控制，可以最佳地涂覆光刻胶层。EV GROUP 6200具有内置功能,为用户提供卓越的精度和精确度。它包括一个最先进的图像识别算法，用于识别微观层次的图样对齐标记。该机还具有精确的温度控制功能,可实现准确、一致的处理。它还配备了高效、均匀的光源，用于曝光目的。最后,EVG/EVGroup 6200是一种用于直径200 mm的基板的掩模对齐器。它配备了两个阶段，第一个允许在基板上创建有图桉的对齐标记，第二个用于光刻处理。该机配备了多项功能，为用户提供了精确、准确的界面，如用户友好界面、图像识别算法、精确温度控制和高效光源。