二手 EVG / EV GROUP 620NT #9286955 待售

EVG/EV GROUP 620NT Mask Aligner from EVG是下一代精密光刻设备。它是一种通用工具，可用于从MEMS/传感器到微流体和光电子等广泛应用的高分辨率阵列。EVG 620NT非常适合先进的超精细制造技术,提供卓越的对准精度和精确的曝光后配准。EV GROUP 620NT也足够灵活,可以立即适应具有挑战性的结构和基板。620NT提供现场优化的5.2微米光斑大小和多达30个mJ/cm2紫外线暴露源,提供精确的对准和模式。系统的曝光头可以根据源进行切换,还有一个64位曝光cha速度控制,用于微调曝光协议。基板级有一个非接触式伺服控制单元，可以用高分辨率编码器实现亚微米位置精度的位置读数。它还具有环境控制和主动工作空间成像机，以提高安全性。EVG/EV GROUP 620NT的对准由于其先进的晶圆到掩码变焦技术而具有很高的准确性和可重复性。该工具具有先进的对齐标记标识，可确保在一系列不同的基材上精确定位图样。它还具有用于对齐验证和过程验证的完整分析工具库,以及专有的预设优化引擎。最后，资产包括一个全面的数据分析和测量包，允许详细的过程监测和评估。EVG 620NT Mask Aligner利用最新的先进光刻技术,为一系列复杂的制造应用提供高分辨率、准确性和可靠性。如果需要跨不同基板的阵列均匀性,则EV GROUP 620NT是适合您的工具。它用户友好,具有直观的触摸屏控件和用户可选择的参数,具有极大的灵活性。您可以信任620NT每次都提供可靠、可重复和精确的模式。