二手 EVG / EV GROUP 640 #293639247 待售

EVG/EV GROUP 640是一种自动化的掩模对齐器，设计用于半导体制造中的光掩模的高效阵列、对准和曝光。EVG 640能够同时处理石英和石英上铬的光掩模,在各种工艺中灵活地为任何大小或形状的掩模设计图案。EV GROUP 640利用具有微米级精度的双龙门机器人系统，使光掩模与晶片基板精确对齐。该设备能够在一次曝光内调整各个掩模的角度和位置,从而提供更大的灵活性和强大的定位性能。其直线电机驱动的定位器，加上其全覆盖的高分辨率编码器，为光掩模对准提供了高精度和稳定性。640包含一个用户友好的界面,具有多种易于访问的功能,可确保高效的工作过程并最大程度地减少用户错误。它具有直观的控制器,具有层定义功能、差分掩码放置精度和过程恢复功能。它还包括可编程的多级光束轮廓，可以无缝调整以保持最大剂量在临界维度水平。EVG/EV GROUP 640配备了提供多种功能的高级软件，如缺陷检查、过程控制、数据收集和分析。软件确定每个掩模的最佳曝光参数,如曝光范围、曝光时间、照明角度和图桉放大倍数。它还可以方便地执行不同类型的操作，如底物补偿、剂量延迟和多闸能力。总体而言,EVG 640是一款功能强大的高级掩模对齐器,旨在在一系列基板和工艺中对光掩模进行高精度对准和曝光。其先进的软件和直观的用户界面提供了高效、高效的掩码对齐和曝光过程所需的性能和易用性。