二手 EVG / EV GROUP 640 #293809531 待售
网址复制成功!
EVG/EV GROUP 640是一种掩模对齐器,它提供了在光刻过程中使用的掩模上精确放置和对齐模式的高精度和精确度。这种硬件由于体积小巧而需要极小的空间和资源,其多种配置使得它成为许多不同光刻操作的绝佳选择。EVG设备基于光束平台,具有一系列数字光学和精密扫描阶段。该平台由安装在电动龙门上的光学物镜、XY扫描级和Z轴级组成。每个阶段都是独立的,可以用来精确定位正在使用的掩模。该物镜配有可调镜面,可以调节,为各种图桉形状创造最佳的成像光斑尺寸。EVG 640还有一个高精度的手动x-y对齐表,允许用户手动调整蒙版上图桉的对齐方式以满足特定要求。此外,x-y对齐表还配备了"无工具"产品功能,允许用户在不使用任何工具的情况下调整和重新对齐蒙版。运行EV GROUP 640对齐器的软件直观易用。它有一个图形用户界面(GUI)和设置是容易调整和操作的各种应用程序。640是一个健壮的系统,可以产生亚微米的对准精度和可重复性。它还提供了手动加载或机器人加载单元的选择。机器人加载程序允许用户快速、轻松地执行多个对齐操作,使他们能够以最短的设置时间快速高效地完成光刻任务。总体而言,EVG/EV GROUP 640是任何光刻应用程序的绝佳选择,需要精确定位和对齐蒙版上的图桉。它具有紧凑的设计和较低的开销,使其成为任何需要快速准确定位用于光刻的掩模的操作或业务的理想选择。其直观的用户界面、机器人装载机和无刀具功能确保了高效有效的操作,使其成为几乎所有光刻要求的理想选择。
还没有评论