二手 EVG / EV GROUP 640 #9200554 待售
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ID: 9200554
Double side aligner
Model no: EV640R
Light box
Shutter
Fly eye
With mask version of frame, 7"
Substrate fixture, 6"
Computer
Manipulator
Lamp stand and other accessories
Mirror
Control cabinet
Robot controller
Mercury lamp power supply.
EVG/EV GROUP 640是一款全自动、多室掩模对准器。用于精密光学、微电子、半导体器件的制造。这种对齐器是一种用于阵列放置和迭加的精密工具，可实现最小的失真和精确的对齐精度。它能够达到9微米的放置精度和10纳米的覆盖精度。这款先进的掩模对准器具有多种核心组件，包括直径6英寸的投影镜头、25 nm分辨率的机器人X-Y-Z级以及三台高分辨率数码相机。该单元每次运行最多可处理三个口罩，并有两种曝光模式，单发和多发，允许快速准确地曝光所有层。机器的柱头传递特性允许通过主动补偿层间偏移来优化对齐精度。它为一次和两次曝光提供了六个区域的对齐方式。该单元还包括多种其他集成特性，包括静电卡盘平面度和监控、使用零线移动特性的快速掩模交换、多种自动化晶圆和掩模处理能力以及低颗粒沉积。它还能够暴露于多层双面垫片对齐基板和每个作业多达四个对齐基准。EV GROUPEVG 640是一种强大而精确的模式放置和迭加工具。它提供了生产精密光学、电子和半导体器件的高效工艺。它具有坚固的特点，是满足高精度微加工需求的可靠解决方桉。
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