二手 EVG / EV GROUP EV 640 #9287507 待售

EVG/EV GROUP EV 640是一种晶圆步进和掩模对准设备，设计用于制造半导体和集成电路器件。该系统具有全自动和通用的掩模对准平台,可实现快速高效的生产。该单元在具有较高集成和层数的设备的生产中特别有用。EVG EV 640机可用于多次对齐，覆盖精确至1 µm。其图桉和感光材料支持各种基材的加工。例如，该工具的扫描分辨率为1 nm，平台分辨率为0.1微米。该资产采用了多种先进技术，以确保最高质量和统一的结果。其中包括一个区域/线路传感器，用于定位在薄至五微米的基板上，并用于对准大至十二英寸的基板，专有的无边、多功能框架补偿器的微技术，以及高速逐模识别模型，仅举几例。设备还包括电子放大适配器和光学测量系统，有助于在生产过程中达到均匀的均匀性。这些功能和更多功能有助于提高设备的高吞吐量,从而实现更快、更准确的流程。通过自动化控制，机器可以优化吞吐量，满足特定的生产要求。该工具还包括一个提供全面服务的软件包和硬件界面，可快速访问生产数据，并允许用户创建虚拟原型和接收生产过程的自动更新。自动化控制软件简化了对齐过程，使设置和监视作业变得容易。EV GROUP EV 640凭借先进的技术提高了精度和生产率。该资产具有高精度生产、缩短生产时间的能力，高效、适合于大批量生产。