二手 HITACHI Hitech #9359868 待售

HITACHI Hitech是为最苛刻的物理气相沉积（PVD）和光刻工艺而设计的高性能掩模对齐器。Hitech拥有一整套功能,非常适合执行各种应用程序,从大规模的生产运行到精确的蚀刻和阵列操作。HITACHI Hitech将先进的掩模对准技术与高端光学元件和精确的微米控制运动级相结合，以可重复的精度提供一致的结果。该设备具有先进的X-Y级,可移动到0.1微米的增量,以实现精确和精确的掩模对齐。此外,Hitech还采用了一种连续的非真空索引技术,以高效且节省时间的方式进行多层对齐。HITACHI Hitech还通过掩埋通道技术提供了极佳的晶圆均匀性，有助于在每个晶圆表面保持一致的蚀刻速率。此外,系统还配备了有机共焦成像技术,该技术甚至可以检测图样的最小细节,并扫描晶圆表面以获得最高级别的校正。作为一项创新功能,Hitech能够使用强大的电动电机单元和定制的轨道组件执行步进集成过程。这种布局让用户实现了卓越的工艺一致性和与众不同的产品质量。此外，利用其内置的10倍测量能力，数据可以很容易地记录和分析优化层沉积。作为一个多功能的软件包,HITACHI Hitech包含一系列支持多个应用程序的组件。该机器为3 D透射率对齐操作提供了通用的示例阶段,并提供了一系列专用的支持组件,以确保高性能。此外,该单元还标配了先进的视觉工具,为模式迭加对齐和样本的精确识别提供了最高的准确度。总体而言,Hitech是一款先进的掩模对齐器,专为各种PVD和光刻工艺而设计。通过提供快速、准确和可重复的结果,HITACHI Hitech提供了卓越的性能,可实现最佳蚀刻和层沉积精度。凭借其全面的功能和组件,Hitech是许多业界领先制造商首选的掩码对齐器。