二手 HTG 314-5 #114653 待售

HTG 314-5掩模对准器是一种自动化设备，用于确保用于生产复杂电子设备的掩模和标线精确对准。遮罩对准是光刻的一个基本组成部分，即通过光照将遮罩或标线图样转移到基板上的过程。314-5是为最大生产力而设计的高精度、高精度的掩模对齐器。它具有由高扭矩步进电机驱动的双独立10英寸提升级和自动测序系统,可消除手动重复成像周期。它还具有真空卡盘和精密基础真空系统，以确保平坦、稳定的成像表面。显示器允许实时图像查看和自动模式识别。HTG 314-5使用高度通用的6轴电动机械手，提供X-Y和Z轴，以及旋转运动，以精确对准卡盘上的蒙版和标线。314-5包括一个先进的光学显微镜来测量很小部分底物的物理特性。显微镜也可用于选择最佳对准点。HTG 314-5是用于预掩码装配的高效设备。它允许非常快速和精确的对准图样板或标线和基板与最小的用户干预。它还具有多种模式校正功能，以确保高对准精度。这允许快速原型设计和并行生产运行。它还具有批处理能力，可以被编程为按顺序运行多个作业。314-5是日立高科技集团製造的高精度掩模对准器。该装置设计用于光刻过程中，并提供可重复的高精度对准该过程中使用的蒙版和标线。它提供快速、准确的成像、多种校正功能的组合，并且可以编程为运行批处理过程。HTG 314-5提供了一个通用的掩模对齐器，以提高模式传输的速度和准确性。