二手 HTG 84-3 #18003 待售

HTG 84-3是一种最先进的掩模对齐器，设计时考虑到了高效的光刻工艺。这台自动化机器利用激光技术，将口罩精确对准和蚀刻到薄基板上。设备可以产生分辨率高达40 nm的图样。该机器配备了由步进级和光学单元组成的自动制图系统。步进阶段工作的位置和对齐面罩图样元素精确到基板上。光学机器用于读取放置蒙版所需的坐标。此外，光学工具还用于聚焦图样制作过程中使用的激光束。84-3中使用的激光技术是以高达1.78 kW的功率水平工作的氮激光。这种激光器被设计成具有精密加工元件的高精度图桉。激光器的薄膜结构确保了图样对准和蚀刻过程中的可重复精度。用于工具设置和特征识别的软件对掩码对齐器进行了补充。该资产允许用户编程工具设置、指定基板特性和注册基板布局。模式识别功能允许模型识别和测量复杂的空间特征，从而优化对齐和蚀刻结果。HTG 84-3可以加工玻璃、石英、氧化铝等薄膜基板。该机配备高压冷却设备，保证了加工各阶段的精度，并在最终模式中提供热稳定性。此外，该系统在激光切割过程中利用氮气，从而最大限度地减少表面污染，提高工艺速度，并允许高质量的结果在图样。总体而言,84-3掩模对齐器是一种强大的工具,可满足当今光刻工艺的需要。凭借其通用的激光技术、最先进的模式识别功能和薄膜处理选项,这台机器一定会将您的生产过程或研究工作提升到新的水平。