二手 HTG System 1 Model 84-3 #156406 待售

HTG Equipment 1 Model 84-3是一款高精度的掩模对准器，旨在将半导体掩模图样精确对准并暴露在模具芯片上。它能够成像高达5英寸的晶片，具有5.5英寸的图像场和100微米的分辨率。它配备了单轴电动X/Y级和多个对准传感器,可确保模具芯片上的掩模图样精确且可重复对准。该系统包括一个固定的高强度紫外线源和一个相关的可调快门控制单元，可通过用户友好的微米控制器操作。紫外线源允许曝光设备图样，快门控制机器允许精确控制图样曝光时间。自动加载程序允许自动加载和卸载晶片,而无需手动操作。该机器的光学器件采用石英投影透镜，其结构旨在最大程度地减少像差和失真。可调虹膜允许在蒙面曝光过程中正确照射设备图样。此外，光学器件还包括两个传感器，一个是标线编码器，另一个是芯片编码器，这两个传感器能够在晶片上精确和可重复地放置芯片和掩码。该机配备了一系列环保功能。这些功能包括氮气清除工具、多个滤波器风扇和晶圆对准控制资产,以确保晶圆和掩模对准始终保持。整体Model 1 Model 84-3是一种功能强大且可靠的设备，用于将半导体器件图样精确地暴露在模具芯片上。其用户友好和直观的用户界面结合了多种功能,提供了高性能的掩码对齐器。