二手 JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200 #9107350 待售
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JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200是一种用于光刻的全自动掩模对准器,能够为半导体和光电器件产生高精度的图样。该掩模对齐器提供高精度的精确度对齐,并具有较高的晶圆吞吐量,使制造过程能够快速高效地完成。MA-4200配备了高速自动模式识别设备,可精确对齐所需的电路模式并与所需的掩码匹配。它使用扇区分离器镜像来实现阵列与掩码的正确对齐并产生可重复的结果。模式识别系统还可以补偿晶圆变形和其他环境影响。此外,JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200配备了高分辨率的掩模投影单元。这台由镜片和镜子组成的机器在四个维度上精确、精确地将掩模投射到晶圆上,从而能够形成先进的半导体电路模式。该工具还提供高速曝光,并具有高达每分钟10个晶圆的快速吞吐量。MA-4200还包括一些功能,例如高级过程控制资产,它允许用户准确地监视和控制掩模和晶片的对齐,并对过程进行即时修改。该模型可实现最佳对齐产量和改进过程一致性。该掩模对齐器还包括一个计算机控制的焦点调节器,用于在整个曝光过程中自动保持焦点。这样可以确保阵列精确投影到晶片上。JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200使用易于学习的接口线程进行编程,允许用户以最小的努力开始使用该设备。总体而言,MA-4200是一种高效可靠的掩码对齐器,可提供精确的对齐和高通量。它非常适合从基本抄写员布局到最先进的3-D光刻的应用,并为各种光刻需求提供了全面的解决方桉。
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