二手 KARL SUSS 260MS022 #9252212 待售

KARL SUSS 260MS022
製造商
KARL SUSS
模型
260MS022
ID: 9252212
Mask aligner.
KARL SUSS 260MS022是一种全自动的、最先进的掩模对齐器,用于光刻,用于将图样精确蚀刻到集成电路和其他微设备上。对齐器由一组组件组成,这些组件设计成跟踪从光掩码生成的图样。这种组合包括一个微步进电机、一个控制单元、一个步进数编码器、一个玻璃标线级、一个发射喷嘴、一个掩模对准系统和一个标本卡盘。通过组合所有这些组件,Mask Aligner提供了高精度和准确性,以确保最终的蚀刻结果是一致的。"掩模对齐器"上的微型步进电机可执行精确旋转。它无需接触即可运行,从而创建增强的运动控制。马达具有小巧而低矮的外形设计,使设备产生的热负载保持在较低水平,这有助于确保蚀刻图样的最高分辨率。控制单元用于控制步进电机的速度,它允许操作员调整电机的速度,从而调整蚀刻模式。这使操作员能够通过精确创建所需的蚀刻模式来真正制作自定义产品。步进数编码器允许操作员根据模式集选择对齐系统移动掩码所需的步骤。这使操作员在调整对齐系统的高度时有更多的控制和准确性,因为这取决于操作员选择正确移动舞台所需的步数。玻璃标线台在晶圆上的确切位置放置光掩模时允许精度,用于识别掩模上的芯片布局区域。MaskAligner的发射喷嘴将液体材料喷射到光掩模上,从而确保正确的蚀刻模式。最后,但并非最不重要的,是标本卡盘。此功能用于在蚀刻过程开始时安全、准确地将晶片固定到位。这有助于保持晶片上的图样与掩码上传输的图样对齐。所有这些组件协同工作,提供了一个精密但高效的掩模对齐器,它能够产生分辨率最高的图样,而不会浪费昂贵而精致的光掩模。260MS022是微电子设备生产的理想的掩模对齐器。
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