二手 KARL SUSS AltaSpray #9278861 待售

KARL SUSS AltaSpray是一种精密掩模对准器，常用于製造微晶片和其他集成电路元件。它由KARL SUSS公司制造，具有独特的喷雾技术和精确对齐的面罩。通过这种设计，它能够在转移过程中准确、一致地将图样转移到基板上。AltaSpray专为纳米光刻而设计，是在基板上生产非常小、复杂的形状。它利用高精度投影镜头，能够高分辨率成像。此外，专利级用于确保面罩和基板的精确对准。这允许将过程转移到任何给定基材中的高精度、重复性和重复性。KARL SUSS AltaSpray还具有粒子检测和控制系统等自动功能，以及自动面罩清洗和维护系统。这些特性旨在提高喷涂工艺的精度和效率。AltaSpray主要基于掩模投影光刻原理运行。在此过程中,数字图样图像通过掩码投影到基板上。遮罩放置在投影透镜和基板之间，并由紫外线光源照射。这种光源和掩码组合被称为掩码对齐器。当遮罩和基板对齐时,所需的图桉将投影到基板上,同时遮罩的其余部分被遮蔽。这有助于确保在传输过程中精确放置模式。为了保证高质量的图桉，KARL SUSS AltaSpray还采用了专利喷雾技术。这种喷雾技术包括雾化的抗蚀剂喷雾或用于保护基板在光刻过程中不受蚀刻的材料的组合。一旦抗蚀剂和基材接触，它们就形成一个稳定的保护层，并允许将所需的图样蚀刻到基材中。AltaSpray是一种将光刻图样转移到基板上的高效工具。它旨在确保每次都能获得准确和可重现的结果,从而促进更快、更高效地生产集成电路和其他设备。