二手 KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9144075 待售

KARL SUSS/MICROTEC BA 6是一款最先进的掩模对齐器，旨在满足主流半导体加工的需求。该对齐器利用先进的光学对准和计量特性进行精密晶片传输，并将掩模的两个方面精确配准到晶片。采用独特而革命性的设计，设备人性化，提供极其精确的口罩对准。MICROTEC BA 6可实现高分辨率光刻,从而限制了对准精度的损害。这对应于低至0.4 µm的特徵大小，以及高达1 µm线宽的对准精度。对齐器包括一个独特的机制，可以在XY方向上分别对齐每个对齐小平面，从而提高对齐器的精度。KARL SUSS BA 6集成了一个高级计量模式，它允许每个曝光参数的精确追溯。该系统能够高精度地测量对齐面、掩模到晶圆距离以及临界尺寸。对齐器还具有高度精确的舞台运动控制单元，允许重复对齐和曝光的特点。此掩码对齐器包含一个专利检查机器,该机器检查掩码模式并识别对齐故障。此外，与该工具的数据库连接使资产能够通过使用统计数据优化对齐条件。这通过减少不良暴露的数量来增加标线的寿命。凭借其先进的特性和功能,BA 6提供了一些市场上最精确的掩码对齐方式。其用户友好的界面和易用性简化了半导体制造的生产工艺。