二手 KARL SUSS / MICROTEC M6000L #9012375 待售

KARL SUSS/MICROTEC M6000L是专为先进半导体光刻工艺而设计的生产面罩对齐器。它具有高吞吐量、多功能性和出色的过程控制功能。MICROTEC M6000L利用高精度线性定位阶段和自动化的"教学和重播"/对准设备,从而实现掩码和晶片之间的精确对准。该系统使用用户友好、直观的图形界面进行编程,并具有强大的算法来支持产品开发、工程和生产需求。KARL SUSS M6000L提供1 µm的定位分辨率，6µm的高对准精度。它还支持同时使用标准和先进的光刻工艺，包括深紫外线、电子束和i-line。此外,该单元还设计用于处理尺寸不超过12英寸的大型基板以及标准的4英寸和5英寸晶圆。M6000L对齐器具有一个自动夹紧机，它提供了一个安全和可重复连接基板支架和工具之间。还包括真空端口和真空足迹隔离，以便在临界暴露阶段为基板提供足够的真空压力。KARL SUSS/MICROTEC M6000L提供了一些先进的功能,可实现可重现和可重复的光刻工艺。这些特性包括温度控制环境、面罩和基板的自动润湿性控制、使用腔室耗材的过程监控以及晶圆的对准和曝光过程的远程监控。该资产还包括一个数字图像捕捉相机，它能够对焦距进行监测，以确保在曝光模式下的高分辨率成像性能。MICROTEC M6000L是一种先进的、功能齐全的光刻解决方桉，旨在确保先进半导体材料的最佳模式开发。该模型为用户提供了一个全面的光刻设备，使高吞吐量和准确的过程。它可以帮助用户在提供高质量设备的同时实现可重复性、强大的性能和成本效益。