二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293774924 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是用于生产微电子器件的精密掩模对准器。它是一种用途广泛、可靠的工具，非常适合各种应用，包括制造MEMS（微机电系统）、先进的半导体器件和微光学。MICROTEC MA 1006是a6轴掩模对准器,可与各种步进/扫描仪投影光学器件配合使用,可同时容纳平面和3D掩模。它具有广阔的视野,因此可用于对齐各种大小的掩码。KARL SUSS的对齐头MA-1006允许XY、YZ、XYZ和XZ平面平移，以及X、Y和Z轴的旋转对齐。MICROTEC MA-1006还具有手动或可编程的Z焦驱动器,使用内置的Z电动机,分辨率为纳米。掩码对齐器包括许多关键功能,使其能够提供高精度结果。这包括先进的控制和测量设备，其中包括用于精确对准的操纵杆，以及用于视觉对准的内置显微镜相机。KARL SUSS MA 1006还有一个基于视觉的自动对焦系统以提高精度，以及一个高精度的XY扫描单元以达到最大的重复性。面罩对准器配备了高性能投影镜头，能够实现0.5µm的接触成像分辨率，0.8µm的非接触成像分辨率。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA-1006具有内置的安全功能,如紧急停止开关和电源故障恢复机器,可保护机器和样品免受意外事件的影响。总体而言，MA 1006是设计用于生产微电子器件的可靠、准确的工具。它提供了广泛的精确对准和成像功能,并配备了多种功能以确保安全高效的操作。
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