二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792236 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是一种专业级的掩模对准器，用于光刻工艺中精确对准光掩模、图样晶片和基板。这台高度精确的机器设计用于严格控制控制光刻设计的对准和曝光的参数。MICROTEC MA 1006利用光学、机械和电气组件的独特组合,在各种材料上精确对齐图桉。一个远心的Cr-x-Si-Zeiss柱提供了获取光掩模图样的光功率，而计算机控制的舞台则精确地将图样化的基板和掩模相对放置在正确的位置。为了确保最高精度,KARL SUSS MA-1006采用了闭环对准设备,该设备包含了反射成像、曝光中断和舞台微调,以确保对准精度达到或超过光刻工艺的规格。KARL SUSS/MICROTEC MA-1006旨在提供均匀和可重复的照明曝光以及各种光掩模材料,包括石英、熔融二氧化硅和玻璃铬。它能够容纳从4英寸到8英寸不等的基材尺寸。数字计量系统（DMS）与机器集成在一起,有助于确保在曝光前将光掩模精确放置在精确的位置。该单元还提供了编程和运行多个曝光周期以提高吞吐量和准确性的能力。MICROTEC MA-1006具有一系列光源,包括高功率LED、弧形和激光器,以及独特的UVShadow Shield,用于在暴露期间防止杂散紫外线辐射。它能够生产0.5um至6.5um的感光膜厚度和9轴运动控制机。本机兼容多种光掩模材料，包括介电、石英上的铬、玻璃上的铬、二氧化硅上的铬，以及其他先进的光掩模类型。MA 1006设计考虑了人体工程学和安全性,易于使用.它具有19英寸TFT液晶触摸屏和全面的图形用户界面,易于使用。该掩模对齐器还提供了多种来源的基板和光掩模的可重复和精确对齐功能,使其成为提高光刻工艺吞吐量和降低成本的强大工具。