二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792883 待售

ID: 293792883
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是最常用于亚微米基板接触曝光光刻和特定集成电路(IC)应用的掩模对准器。这种掩模对准器提供了广泛的对准精度和曝光范围,从10 µm(0.00004英寸)分辨率和196 mm(7.7英寸)工艺尺寸,有完整的8英寸晶圆可能。MICROTEC MA 1006设计用于平行曝光光刻,包含两个独立的固定扫描阶段和两个独立控制的可编程曝光阶段。扫描阶段与自备快门、自动热开关、进纸臂和集成消磁器相结合。自动热开关允许机器在高温和低温范围内运行,而集成消磁器可确保在一系列基板上最大程度地暴露。曝光阶段采用精密步进电机驱动和可编程曝光时间,而进纸臂则允许机器快速设置和运行。KARL SUSS MA-1006还具有许多特殊的功能,例如光电管能够检测基板的曝光位置,以及明亮的场探测器能够与掩模精确对准。此外,该机器能够运行多个操作系统,而且较不复杂的软件可用于优化掩码设置和曝光。KARL SUSS MA 1006是一种高精度设备,能够提供高分辨率和可重复的结果。它具有先进的图像处理和控制系统,使其能够提供高精度的结果。该控制系统包括最先进的温度监测和控制、电源和环境监测、精确对准系统以及接触曝光。这使MA-1006能够为各种平版印刷应用提供最高水平的准确性和吞吐量。
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