二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9006500 待售
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ID: 9006500
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6"
(1) Micron resolution on 6" wafers
Split field microscope with (6) objectives
1000 W Power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是一种高度先进的掩模对准系统,能够为半导体器件制造等微光刻应用生产可靠、精确的掩模。该系统使用光学透镜和双轴对准系统来精确对准掩模和基板。底视图摄像机可帮助用户向舞台展示口罩,而顶视图摄像机则可帮助准确放置基板。MICROTEC MA 1006可达到2.5µm的最小对准误差,这对于几何形状在2µm以下的设备是必不可少的。KARL SUSS MA-1006具有多种功能,可提高可靠性并最大程度地减少生产过程中的错误。可编程对齐过程屏幕允许根据用户规格对掩模和基板进行完整的图像捕获和移动。内置滤镜有助于消除光学器件中的任何噪声,5 nm分辨率的运动控制有助于确保对准的准确性。MA 1006还带有自动对焦功能,可用于像差校正和控制掩模对焦。KARL SUSS MA 1006配备了符合人体工程学的设计,使用起来舒适。重型光学器件可提高耐用性并保持温度稳定,即使在清洗时也能确保准确性。它还包括各种各样的连接端口,以方便与其他设备集成。总体而言,KARL SUSS/MICROTEC MA-1006是一种功能强大且可靠的掩码对齐器。其先进的特点、精确度和易用性使其成为高精度半导体器件制造的理想选择,缩短了生产过程。有了适当的维护,这种口罩对齐器就有可能提供多年的可靠服务.
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