二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9180520 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是一种高度精确、全自动的掩模对齐器,旨在满足苛刻的光刻要求。这款先进的工具非常适合高分辨率的6英寸和8英寸光刻任务。它非常适合在硅、金属、玻璃和复合材料等基板上创建集成电路、MEMS和其他设备。此工具使用户能够精确对齐分辨率低至0.5微米且焦点深度高达100微米的掩模。它还提供了从GDSII和OpenAccess等行业标准格式导入数据的灵活性,从而实现了快速、轻松的设置。MICROTEC MA 1006配备了粗细对准的电动光学系统，具有极好的重复性和准确性。为了进一步的精度，KARL SUSS MA-1006提供了一个可选的多角度版本，可以将对齐角度从一个角度调整到五个不同的角度。精密自动化软件允许用户创建、编辑和监视参数,以确保即使是最苛刻的对齐要求也能实现最高的流程准确性。该系统包括一个集成的计量站,提供实时对齐控制,以及用于分析和记录对齐结果及子线性性能的全部功能。而且，该工具采用了光刻胶分配和曝光后烘烤（PEB）等先进技术，使用户能够优化晶圆吞吐量。它还具有广泛的输入和输出功能,包括完整的通信协议补充,如以太网、USB和串行端口。其用户友好、直观的图形用户界面使数据处理和设置变得轻松高效。此掩模对齐器非常坚固,可提供可靠、安全和稳定的操作,且维护最少。它有一个先进的安全系统，有一个手动和电气安全截止按钮，以安全的工作环境。MA-1006也是完全可升级的,提供了配置它的可选功能,例如改进的迭加精度、更大的页面格式和高级自动化工具。