二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293607936 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种用于先进晶圆级器件制造的精密掩模对齐器。它具有1 μ m的分辨率和基于0.7 σ m的3 μ工艺控制的均匀性。该设备采用全区域迭加对齐方法设计,可实现高速对齐、原位任务切换和高级处理。发电机使用5个头部，其工件尺寸为6"或8"，可通过快速更换机器人快速更换。它具有14位ADC和13位DAC,增益为12.5dB。该机的步骤和重复精度在0.2 μ m以内，配准精度在0.3 μ m以内。磁场尺寸可调，最小磁场尺寸为0.6毫米，最大200毫米。MICROTEC MA100 E的系统控制器提供了复杂的多产品编程、定义多个设计数据库条目的能力以及涵盖流程数据库中产品的集成数据库。可以将数据输入数据库以进行重复生成。该设备提供了多种成像工具,包括先进的标线缝合、高速视觉聚焦、角线缝合和方便的触摸屏控制。它具有与光掩蔽装置对准的功能，可在各种基板上提供快速而精确的对准。其高精度力学支持高长宽比的先进结构，步进重复自动对焦可确保精确的图像传输和配准。其先进的光刻机允许对小结构进行高精度对准和曝光，而无需脚手架。KARL SUSS MA 100 E提供快速、准确的对齐，提高整体吞吐量和产量。其直观易用的软件确保了高质量的晶圆制造,并能够产生非常高分辨率的图像。它具有高精度的性能和集成的数据库，是设备制造顶级生产的绝佳选择。