二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293623405 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种先进、用户友好的掩模对准器，适用于包括光刻、紫外线照射和电子束照射在内的广泛操作。该对齐器建立在一个高效的1轴模块化平台上，具有重型G型夹紧设备，可实现高达20微米的快速、精确对齐。MICROTEC MA100E具有精确的晶圆调平系统，集成了350毫米级、8英寸手动曝光级和光学对准。该单元允许对不同级别的工艺层进行精确曝光，以实现多层应用的精确成像。KARL SUSS MA 100 E附带了激光成像和标准曝光光学等多种光学曝光能力，包括强度控制机、光束均匀性和快门曝光时间。它还提供了一种自动曝光工具，能够快速成像操作，高分辨率曝光精度为0.1微米。面罩对准器还带有真空吸力装置，可消除暴露室的污染并确保密封对准。MICROTEC MA 100E还配备了直观、功能强大的对齐软件包，提供扫描曲线、高度映射、动态对齐模式等多功能对齐功能。这些功能能够快速准确地对齐标线,从而提高吞吐量和生产率。该软件还提供图像捕获功能,用户可以准确分析其曝光结果。总体而言，MA100E是一种可靠且用途广泛的掩模对准器，非常适合半导体行业中先进的曝光过程。其高效的1轴模块化平台和直观的软件包可实现准确、快速的对齐,提高产量。