二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293805765 待售

KARL SUSS MA 100E是一种自动掩码对齐器,用于精确制造芯片、传感器和其他需要精确对齐2D和3D功能的设备等微型系统。这是通过将光致抗蚀剂涂层的基板通过图桉化的光掩模暴露于光中来实现的。MA 100E因其先进的表面安装技术（SMT） 3-D对准设备而被设计用于提高表面安装装置的工艺稳定性和精度。KARL SUSS MA 100E掩模对齐器利用极精确的平面估计跟踪（PET）技术.这确保了基材的位置精度在光刻胶曝光期间得以保持。系统安装了X、Y、Z方向5微米的标准分辨率。这允许SMT元件复杂几何的精确系统对齐。而玻璃上的铝（AOG）、绝缘体上的石英和硅（SOI）光掩模都被支持，该单元最常用的是二进制图像和AOG掩模，使用起来最简单。MA 100E掩码对齐器配备了一个标准的扫描镜,它能够在任何方向对齐特征,获取速度为每秒12,500点。此外，该机高度灵活，允许使用不同尺寸和格式的面罩和基板。它可以使用的最大基板面积为280x200毫米。对齐也很快很容易，使用两阶段的方法来实现。第一步使用视觉对齐，而在第二步中，扫描镜像扫描视场并微调对齐。该机器还相当用户友好，具有易于理解的图形用户界面（GUI）。它还内置了用于监测和控制的硬件和软件工具，使用户能够准确跟踪其项目的进度并进行任何必要的调整。此外,可选的工艺安全技术功能可确保在暴露过程中达到正确的剂量和深度水平。总体而言，KARL SUSS MA 100E掩模对准器是一种精密制造微电子组件的可靠自动化机器。精确的PET技术和Process Safe Technology功能为用户在项目期间提供精确的对齐以及有用的监控工具。易于使用的GUI、高速扫描镜,以及能够使用不同格式和尺寸的基板,使其成为微电子领域中最受欢迎的工具。