二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9013165 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner是一种高度精确可靠的光学光刻工具,专为在光刻制造的半导体器件中产生亚微米特性而设计。MICROTEC MA100E具有大的磁场尺寸、高速扫描和自动对焦功能,非常适合生产集成电路。KARL SUSS MA 100 E采用了几个关键组件和创新技术。它有一个Advanced Alignment Equipment （AAS），使用双照相机和软件来精确对齐用于打印的蒙版、晶圆和标线。该系统即使在z轴内也能实现高精度的对准,z轴是掩模和晶圆之间的垂直偏移。MA 100E使用高端大面积照明（LAI）单元。本机采用光纤和LED技术相结合，提供统一的照明模式。这种照明工具还能精确控制曝光和剂量，从而更好地控制印刷图样。KARL SUSS/MICROTEC MA100E使用先进的晶圆传输机制,提供精确的涂层并制定步骤以确保精度。这对于小功能至关重要的设备非常重要。KARL SUSS MA100E有一个集成的图像分析资产，可以优化曝光和剂量控制。它具有产生高分辨率的过程中器件图像的能力，有助于确保光刻的参数精确。此外，KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E有一个针对自动标线加载和卸载的特殊插槽，以及一系列功能丰富的软件程序，可以方便设备规格的管理，使过程更快、更高效。MICROTEC MA 100E还具有一系列安全功能,例如真空和灰尘保护,以及电源控制和电路保护,以增加安全性。MA100E是一种耐用可靠的机器，使用寿命长，维护要求低。它旨在简化复杂和复杂的集成电路设计的生产过程，从而使集成电路的生产具有高效率和成本效益。