二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185927 待售
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ID: 9185927
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
WEC
Sensor
Control cabinet
Non-functional
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种精密掩模对准工具,用于光刻。这台多功能机器适用于从先进研究到商业生产的广泛应用。MICROTEC MA100E具有高度精确的直接2D-controls、运动和温度控制功能。它还配备了具有安全和过程相关控制功能的集成机器控制系统。掩模对准器提供高性能光学元件,包括6合1、高反射、低散射光学系统。光学器件设计为提供适合各种不同应用的照明和成像系统。该设计还确保它具有很高的防尘能力,使其适合生产设施中经常遇到的艰苦环境。KARL SUSS MA 100 E具有高分辨率的XY机动化级,可容纳高达400µm的各种样本量,适合各种不同的光掩模和基板。它还具有先进的对准技术,如透镜中心取景器,用于专用的精确对准。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E附带集成的过程控制软件和图形用户界面,可实现快速参数设置和配方管理。这使得对齐器易于在生产设施中使用,并确保它能够产生可重复、高精度的结果。总体而言,MA100E是一种非常好的面膜对齐器,适合各种光刻应用。它提供了广泛的功能,使其易于使用并产生可靠、可重复的结果。因此,无论是先进的研究还是商业化的生产,都是一个很好的选择。
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