二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185929 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种先进的用于制造微加工设备的掩模对齐器。该装置设计用于硅片、掩模和基板的高精度对准。MA100对准器由高精度光学子系统组成，利用激光对准技术对被加工物体进行精确对准。这包括不同波长的激光器，如紫外线（UV）和可见光。它还包括标准的六英寸光掩模和亚微米对准精度。该机器能够在单个设备中执行一系列任务,包括但不限于光刻、离子铣削和离子蚀刻步骤。由于其高精度的光学对准技术，它也非常适合于晶圆切片和微电子器件中的架构相关任务。它还可以在精密薄膜上进行图样染色。该MA100有三个主要组成部分：光学成像显微镜、舞台和计量系统。光学成像显微镜提供正在加工的设备的高分辨率成像，允许用户调整任何间隙或错位。该级提供了面罩和基板的精确运动,从而实现了精确的模式对齐.同时，采用计量系统测量器件的精确位置和对准精度。该MA100具有许多其他特征,例如多层焦点深度,从而可以在多层上同时进行加工。它还允许在对齐过程中重新定位晶片，允许用户优化对齐过程。此外,它还具有一个过程稳定性特征,有助于最大程度地减少处理过程中的累积错误。最后,它包括一个统计输出功能,允许用户跟踪加工过程的进度。综上所述，MICROTEC MA100E是用于微电子器件制造的一种先进的掩模对准装置。它使用激光对准技术提供晶片、掩模和基板的精确对准，以及在精密膜上实现图样染色。它还提供了一系列附加功能,例如过程稳定性和错误跟踪,以帮助确保平稳高效的加工过程。