二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185932 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E掩模对准器是一种先进的半导体加工设备，设计用于将光刻图样快速精确对准基板。它用于制造用于平板显示器、集成电路和微机电系统（MEMS）等应用的复杂设备。该对准器具有高精度、高分辨率的光学系统，利用色差补偿（CAC）来保证最佳图像形成。CAC单元为小型且难以准确识别和对齐的功能提供了更好的分辨率。MICROTEC MA100E提供自动模式识别和对齐功能,以简化对齐过程。利用激光视觉系统和精密x-y驱动机构的独特组合，精确测量和插值图样边缘位置。这样可确保在一个μ m或更小范围内精确对齐。该机还拥有一台分辨率为40微米的高速Z轴驱动机，可让图桉快速暴露在不同厚度的表面上。它具有高曝光场，可容纳直径达6英寸的基板。此外，机器还有触摸屏控件，可以编程为自动操作或手动控制。该工具还提供集成的晶圆处理系统、全自动流化器、接近传感器和真空卡盘，以促进一系列过程。KARL SUSS MA 100 E是相容的，具有一定的暴露时间范围，从10秒到500秒，与多种化学和抗性材料相容。对于高级掩码对齐功能,KARL SUSS MA 100E是理想的选择。它独特的特性和功能组合为以卓越的精度创建复杂设备提供了理想的解决方桉。