二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185933 待售

MICROTEC MA {KARL SUSS Autoaligner）100E是专门为晶圆级光刻设计的掩模对准器。该设备利用深紫外线光源，曝光波长为365 nm，最大可载荷晶片尺寸为200 mm。该系统非常适合先进的半导体器件制造，包括光掩模和标线生产。KARL SUSS/MICROTEC MA 100E采用空气轴承对齐X/Y级技术，提供精确对齐和高分辨率，适合高端生产环境。MICROTEC MA100E在x和y方向的分辨率为2.5 µm，精度为2-5 µm，Z轴精度为25 nm。其高度精确的对齐和聚焦保证了亚微米分辨率模式具有高度的准确性和可重复性。这种对准精度是通过实现具有远心镜头设计的自动光学对准单元而实现的。KARL SUSS MA 100 E配备了全面的用户友好界面,用户可以快速轻松地设置和监视对齐过程。集成的Windows图形用户界面是直观的,可以方便地为多个应用程序合并自动配方。它还提供了基于图像对齐的DICOM（医学中的数字成像和通信）配置,用于将图样放置在相对于晶圆的精确位置。MICROTEC MA 100 E也有1500晶圆/小时的高最大吞吐量速率，是大批量生产应用的绝佳选择。它还提供了一个可选的高级冷却机，旨在减少光刻过程中的热失真风险。MICROTEC MA 100E也是环保的。它采用了环境控制和气流冷却工具，以降低运行过程中的噪声水平和一般环境影响。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E蒙版对齐器是精确可靠的设备制造的理想蒙版对齐器，专门用于光掩码和标线生产。其精确的对准和对焦能力,加上先进的光学对准资产和高吞吐量,使其成为高端生产应用的绝佳选择。