二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185936 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种先进的掩模对准器，具有较大的工作区域，可用于各种光刻应用。MICROTEC MA100E具有150 x 150 mm的大范围工作面积和可编程控制聚焦和光束功率,提供了高度的精度和精确度。该装置配备了四个光刻投影镜头，其数值光圈范围从0.5到0.75，以及一个0.2X还原镜头，在不同尺寸、基板和应用方面具有灵活性。该装置专为中高体积石版画而设计，拥有成本低，使用寿命长。KARL SUSS MA 100 E高度自动化，提供稳定可靠的工艺，能够进行批处理和分片处理。它配有用户友好的控制系统，并配有视觉系统和对准基准标记识别和迭加校正。它的暴露时间短至2秒，同时精确控制剂量，而不受底物尺寸的影响。该设备还提供自动化的过程管理,具有严格的过程控制参数,允许跨批晶圆进行统一的处理和一致的结果。该设备在个人计算机和Linux服务器上运行,用户可以轻松自定义其系统配置以包括所需的性能参数。该设备还与Cassette to Cassette Modules兼容，允许在不破坏真空环境的情况下快速轻松地装卸。MICROTEC MA 100E是一种坚固可靠的设备,非常适合生产2D/3D微结构和表面微加工。它易于操作和维护,可提供长期工作效率和最小停机时间。对于以合理成本寻找大工作区的企业来说，也是一个经济的解决方桉。