二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185937 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9185937
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
Sensor
WEC
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种掩模对齐器,用于将光掩模精确覆盖到半导体基板上。该机装有石英卤素照明器、计算机控制的移动台和自动对准控制器。石英卤素照明器具有较高的瓦数,在对准过程中允许均匀而强烈的强度轮廓。照明器还具有可调的强度水平,容易调节光线产生所需的效果。照明器的定位也可以远程控制,允许光线的精确放置和角度。移动级有一个电动驱动单元,使其能够在X、Y和Z轴上以高达50 mm/s的速率移动。这样就可以同时精确定位光掩模和基板。这种定位可以用高达+/-0.1微米的公差来实现两个组件的对齐。自动对准控制器是机器的大脑.这使得光掩模和基板能够快速而精确地对准。控制器使用边缘检测、自动对焦对准和各种其他功能的组合,以确保对准过程的精度。它还连接到计算机,以便可以设计和控制复杂的对齐过程。MICROTEC MA100E以其出色的性能和能够精确对齐甚至最复杂的光掩模结构而闻名。它具有亚微米覆盖精度,寿命长得令人印象深刻。此外,该机器易于使用和维护,使其成为半导体行业的热门选择。
还没有评论