二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9197137 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种全自动掩模对齐器，用于高分辨率的光刻微加工工艺。它非常适合制造集成电路、传感器、执行器和其他微电子元件。MICROTEC MA100E设备包括一个基于PC的集成控制单元和一个光学/机械对准系统,具有自动基板和标线加载功能。标线安装在5轴级上，使用数字微米进行精确对准。标线阶段具有手动模式、完全旋转和凹陷选项。基板保持在真空卡盘上,并使用手动或自动基板处理单元加载。真空卡盘由电机驱动,可最大程度地减少基板的错位.该机还配备了具有集成照明和光学显微镜功能的opitcal观看和图像感测工具。这种光学装置可以达到1 µm的分辨率。KARL SUSS MA 100 E还具有6或12英寸真空致动基板级，具有5 µm XY移动能力。遮罩对准器能够以99.7%的透光效率将光图样从标线投射到光刻涂层基板上。高分辨率投影光学器件可确保在基板上形成漫射光模式,从而形成具有极高横向分辨率、精确定位和高对比度的复杂结构。MICROTEC MA 100 E可以在广泛的大气分数和真空水平下操作，允许高保形涂层和增强层均匀性。掩模对准器的对准精度范围很广，从380 nm到75 µm不等，这取决于使用的材料。MA 100 E凭借其直观的用户界面和精确的设计，易于使用和维护。它可以很容易地集成到各种生产过程中，使其成为微光刻的理想工具。