二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278299 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner是一个全合一的光刻系统，设计用于各种微电子应用，如微制造、纳米制造和微机电系统（MEMS）。该单元是一个自动化系统，能够在微米和纳米范围内绘制具有空间分辨率的表面特征图样。它具有一个易于使用的图形用户界面（GUI）和一个大的11.6英寸触摸屏,允许控制微定位器和设备参数。控制器配备了四个自由度，允许高精度对准和光刻。遮罩支架的光学系统具有自动对焦功能,可确保与遮罩对准的精度在2 μ m以内。光源是LED阵列,最大照度为31000 mW/m2,可调节均匀度为80%或更高。光源为各种应用提供多种波长，包括绿色、蓝色或紫外线范围。此外，该工具具有可变强度控制，以进一步控制暴露。光刻阶段可以容纳直径最大150毫米的晶片或基板，2英寸和4英寸的适配器用于较小的基板。它配备了真空夹紧机构，以确保在对准和曝光时的最高精度。裸露的材料托盘可用于干性和水溶性抗蚀剂。可以借助通过的实时计时器监视过程的经过时间。最后,该设备还具有1.5 μ m的最高运行重复性和0.5 μ m的运行连接精度。MICROTEC MA100E Mask Aligner的重型结构、灵活性和准确性使其成为即使是最先进的微纳米制造应用的理想工具。