二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9358526 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一种用于薄膜器件晶片步进对准的自动掩模对齐器。它配备了18英寸可调底座和先进的对准设备,用于面罩和铝基板的精确对准。MICROTEC MA100E的设计目的是通过提供快速、自动化的掩模和基板对准,最大精度为⅓微米,从而降低薄膜处理成本。KARL SUSS MA 100 E使用5英寸的口罩托盘,一次最多储存20个口罩。自动掩码管理系统简化了从托盘加载和检索掩码的过程。口罩托盘还配备了可伸缩快门,以确保正确放置口罩。蒙版和基板的对齐是在整个过程中使用分段锁执行的。这种对齐技术保证了任何数量的口罩和基板的高度准确性和可重复性。除了口罩对准系统外,KARL SUSS MA 100E还配备了氮气净化装置,用于降低口罩托盘中的水分含量。这样可以确保一致的对齐质量,因为水分会导致对齐错误。除尘机还集成了控制湿度的传感器,以保持最佳湿度水平。除了口罩托盘外,MICROTEC MA 100E还配备了一个台式平台,在对准过程中,在口罩和基板的定位方面具有更大的灵活性。该表可以快速方便地重新定位基板和口罩,从而节省时间并提高准确性。MA100E是薄膜器件晶片步进对准的绝佳选择。其先进的对准工具、氮气净化资产和自动掩模放置确保了高精度和可重复性。可调的底座、台式平台和可伸缩快门可确保灵活高效的过程,通过消除代价高昂的错误降低成本。
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